罩式退火炉空气管道的维修方法

　　罩式退火炉的炉子空气管道如果按原设备批改，仅用一般批改技术即可。单对一般炉子空气管道不可重视，构成炉子工作不正常、不经济。常常发生有如下几种情况：

　　（1）、漏气不及时维修。一般认为空气不会含有污染周围环境的问题，所以阀门存在内漏与外漏的情况较多。甚至在漏损量影响炉子正常燃烧时，往往把加大鼓风机作为主要办法而不予维修。

　　（2）、往往不考虑鼓风机特性和要求，不合理使用鼓风机，构成燃烧不正常货浪费动能。

　　（3）、对空气管道制造安装要求不严。往往为了施工便利构成管路阻力丢失大、风量缺乏等弊病。

　　现举某厂一重油燃料炉为例。配用8—18型6号风机一台，电动机功率为17kW．转数为2900r/min，按风机功能出力，全风压应为8.43kPa，风量为3440m?/h-3SOOm?/h。在使用中，炉子油嘴燃烧冒黑烟，炉温上不去，炉子风量显着缺乏。经实测风量只要1600m?/h．仅为额外的43%，在风机的进风门处有出风现象。

　　通过分析，虽然鼓风机选用适宜，问题是管道的设计不合理。由于这种鼓风机出口尺度都较小，风速很大，不能用与风机出口同样巨细的尺度去配风管，而要逐渐扩口，使整条管路的风速控制在lOm/s-15m/s。在分叉，拐弯处不使用直角弯形，要用圆弧弯，以减少部分阻力丢失。

　　退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包含加热多个半导体晶片以影响其电功能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使细密堆积的薄膜，改变成长的薄膜的状况，批改注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。